臺(tái)面腐蝕機(jī)
全自動(dòng)硅片腐蝕清洗機(jī)型號(hào)：CGB-XXXX—XX系列，品牌：華林嘉業(yè)—CGB。該設(shè)備適用于2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸硅晶圓片的清洗腐蝕，德國(guó)進(jìn)口磁白PP板經(jīng)雕刻后熱彎/焊接組合加工；一、槽體結(jié)構(gòu)：該槽體實(shí)現(xiàn)腐蝕或后殘留在片子上的化學(xué)液及污染顆粒的沖洗祛除功能。它由安裝在槽體底部的快排閥、DI注入孔（包括氮?dú)夤呐荩┘绊敳孔笥覂蓚?cè)的DI噴嘴實(shí)現(xiàn)槽體的快速注入與排放。二、工藝控制：快排沖洗槽（QDR）的工作過(guò)程由獨(dú)立K200型專用控制器保證。所有工序均由機(jī)械手自動(dòng)行走自動(dòng)完成。