擴散化處清洗臺

1．本設(shè)備是擴散化清洗臺，適用于8英寸半導(dǎo)體硅片清洗工藝。本設(shè)備由專家親自指導(dǎo)設(shè)計、加工、組裝和調(diào)試。采用國際標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)加工，在超凈廠房組裝測試，有可靠的質(zhì)量保障

2．整機由機架，電器，槽體，加熱，管路，控制，照明等系統(tǒng)組成。

3．共8個槽 ，3個加熱石英藥液槽，，2個噴淋+QDR槽，1個階梯槽（石英），2個下水槽（PP）；

4．進口德國PP板材，耐腐蝕且美觀。

5．PLC控制，觸摸屏操作，聲光提示，錯誤報警。

6．四氟N2GUN，水槍各1把。

7．有活動腳輪，便于移動。

8．照明系統(tǒng)為20W封閉日光燈。