儀器介紹: 
Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI（專利技術(shù)的相位相干算法）干涉原理，可高精度測(cè)量表面形貌、表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸，并計(jì)算關(guān)鍵部位的面積和體積。主要應(yīng)用于數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器件，半導(dǎo)體器件，光學(xué)加工以及MEMS/MOEMS技術(shù)以及材料分析領(lǐng)域。

MMD-220A型輪廓儀通用型 
常規(guī)參數(shù):圓弧處理（半徑、圓心距等）、點(diǎn)線處理、角度處理、直線度、
凸度、對(duì)數(shù)曲線、倒角R、倒角坐標(biāo) 

導(dǎo)軌直線性：≤0.2чm/100mm
示值誤差：0.6%-0.15%±2чm
Z量程：10mm
Z向分辯率/量程:1/65536
X向量程：≤220mm
X向光柵分辯率：1чm
附件：調(diào)偏工作臺(tái)、綜合調(diào)整臺(tái)、精密V形工作臺(tái)、球測(cè)頭、斜測(cè)頭、錐測(cè)頭

MMD-100B 型 輪廓儀 高精度型 
常規(guī)參數(shù):圓弧處理（半徑、圓心距等）、點(diǎn)線處理、角度處理、直線度、
凸度、對(duì)數(shù)曲線、倒角R、倒角坐標(biāo)
導(dǎo)軌直線性：≤0.2чm/80mm 

示值誤差：0.8%-0.1%±2чm
Z量程：10mm
Z向分辯率/量程:1/65536
X向量程：≤100mm
X向光柵分辯率：1чm英國(guó)
附件：調(diào)偏工作臺(tái)、綜合調(diào)整臺(tái)、精密V形工作臺(tái)、球測(cè)頭、斜測(cè)頭、錐測(cè)頭

MMD-220B 型 輪廓儀 高精度型 
常規(guī)參數(shù):圓弧處理（半徑、圓心距等）、點(diǎn)線處理、角度處理、直線度、
凸度、對(duì)數(shù)曲線、倒角R、倒角坐標(biāo) 

導(dǎo)軌直線性：≤0.15чm/100mm
示值誤差：0.5%-0.1%±1чm
Z量程：10mm
Z向分辯率/量程:1/65536
X向量程：≤220mm
X向光柵分辯率：0.05чm英國(guó)
附件：調(diào)偏工作臺(tái)、綜合調(diào)整臺(tái)、精密V形工作臺(tái)、球測(cè)頭、斜測(cè)頭、錐測(cè)頭