超純水制備中，TOC（總有機碳）的降解至關(guān)重要，采用UV-180nm單波長紫外技術(shù)，并通過高劑量的UV-180紫外關(guān)催化，在水中產(chǎn)生.OH翔基自由基，對水中的有機物進行氧化降解，以達到降低水中TOC的含量。該設(shè)備采用美國進口的紫外線燈管和鎮(zhèn)流器，燈管的有效使用壽命為12000小時，腔體的標準材質(zhì)為316L不銹鋼，采用內(nèi)外鏡面拋光設(shè)計，設(shè)備配有紫外線強度監(jiān)測系統(tǒng)、故障報警系統(tǒng)和溫控系統(tǒng)及時間計數(shù)器燈多種功能。
波長為180 nm的真空紫外光子能量高達7.2 eV，足以打開大多數(shù)分子鍵，是一系列化學(xué)反應(yīng)和表面加工處理過程的基礎(chǔ)：

有機物的分解和氧化。

化學(xué)氣相沉積(Photo-CVD)。

表面改性，如電子薄膜性能的改善。

表面活化。

準分子紫外光源的光強輸出高達傳統(tǒng)低壓汞燈的1000倍，使處理時間大大縮短，加工過程大大加快。

高強度180nm紫外光源可應(yīng)用于半導(dǎo)體制造業(yè)：

表面清洗。高能紫外光子與氧氣作用產(chǎn)生臭氧和氧的活性基團，使有機物氧化而清潔表面，并使表面分子鍵激活。

光化學(xué)氣相沉積。生長各種無定形的電子薄膜，如高介電常數(shù)Ta2O5和HfO2等。

改善化學(xué)結(jié)構(gòu)。對SiO2進行處理以改善其化學(xué)計量性。

表面激活，以增加表面張力和濕潤性。