半自動GAN/GaAs外延片清洗機(jī) 
※  控制模式:  手動控制模式   自動控制模式。
※ 清洗規(guī)格：2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette；   4 inch，2 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；
※  工藝說明:手動方式實(shí)現(xiàn)放件，取件，槽體間傳送件。
※  設(shè)備形式: 室內(nèi)放置型。
※  腐蝕工藝自動補(bǔ)藥液保證了工藝槽在運(yùn)行過程中濃度的穩(wěn)定性；
※  工藝參數(shù)（溫度，時間，DIW水清洗模式、時間可調(diào)）手動由觸摸屏界面可設(shè)定；
※  機(jī)臺前方為清洗工作區(qū)域，機(jī)臺后上方為電器和氣路布置區(qū)域，后下方為液路布置區(qū)域。
※  藥液供給及補(bǔ)液方式: 分體式CDS自動供液系統(tǒng)
※  DI槽配有在線式水質(zhì)檢測裝置；
※  配有分體式廢液回收系統(tǒng)；
※  強(qiáng)排風(fēng)風(fēng)通道：￠200mm×1；排風(fēng)量：1500m3/h×2