產(chǎn)品關(guān)鍵詞:
有機(jī)清洗化學(xué)臺(tái),硅片清洗機(jī),石英管清洗機(jī),硅塊清洗機(jī),半導(dǎo)體清洗,
LED系列-全自動(dòng)有機(jī)清洗臺(tái)
※ 控制模式: 手動(dòng)控制模式 自動(dòng)控制模式;
※ 清洗規(guī)格: 2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette; 4 inch,2 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;
※ 設(shè)備形式: 室內(nèi)放置型;
※ 尺寸(參考,含地腳):3000 mm(L)× 1500 mm(W)× 2000+1000 mm(H);
※ 工藝說(shuō)明:全程機(jī)械傳動(dòng),自動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)槽體間傳送工件全程自動(dòng)化控制,工藝過(guò)程中沒(méi)有人工干預(yù),保證產(chǎn)品性能的一致性;
※ 腐蝕工藝自動(dòng)補(bǔ)藥液保證了工藝槽在運(yùn)行過(guò)程中濃度的穩(wěn)定性;
※ 工藝參數(shù)(溫度,時(shí)間,DIW水清洗模式、時(shí)間可調(diào))手動(dòng)由觸摸屏界面可設(shè)定;
※ 機(jī)臺(tái)前方為清洗工作區(qū)域,機(jī)臺(tái)后上方為電器和氣路布置區(qū)域,后下方為液路布置區(qū)域。
※ 機(jī)械臂的橫向移動(dòng)和縱向提升均采用進(jìn)口伺服馬達(dá),閉環(huán)控制,定位精度≤0.3mm,可靠性高;
※ 采用雙導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動(dòng),幾何曲線加減速運(yùn)動(dòng),沖擊小、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)。
※ 為確保清洗工藝和機(jī)械手的使用壽命,機(jī)械手由多種工業(yè)材料和特殊的表面處理構(gòu)成。
產(chǎn)品關(guān)鍵詞:
有機(jī)清洗化學(xué)臺(tái),硅片清洗機(jī),石英管清洗機(jī),硅塊清洗機(jī),半導(dǎo)體清洗,