杭州防腐蝕層價(jià)格 浙江【防腐蝕層】公司 杭州防腐蝕層哪里好 原子層腐蝕技術(shù)　　原子層腐蝕技術(shù)（ALE）是一種重要的納米級(jí)加工技術(shù)。其基本原理是：首先在襯底表面上吸附反應(yīng)氣體分子，然后采用光、電子束或者離子束去激發(fā)氣體分子，使得氣體分子與襯底表面原子發(fā)生反應(yīng)，從而去掉襯底表面的一個(gè)原子層；重復(fù)進(jìn)行吸附-激發(fā)-反應(yīng)，即可去掉襯底表面的多個(gè)原子層。 　　例如，在Si襯底表面上首先吸附一層F自由基（通過CF4和O2的混合氣體進(jìn)行微波放電來得到），然后采用Ar離子（可通過ECR等離子體來獲得）照射襯底表面，使得F與Si反應(yīng)，從而去掉襯底表面的一個(gè)Si原子層；接著，再讓Si襯底表面上吸附一層F自由基，并再用Ar離子照射，這又通過形成F-Si反應(yīng)物而去掉一層Si原子；如此反復(fù)進(jìn)行，即可去掉Si襯底表面的數(shù)個(gè)原子層。[1]聯(lián)系人:朱中懷 電話:0571-86335485 手機(jī):13606805343 傳真:0571-88755140 郵件:hzlrhb@163.com QQ : 1715323685 地址：浙江省杭州市余杭區(qū)仁和鎮(zhèn)柵莊橋村7號(hào)