電子半導(dǎo)體器件、電子計(jì)算機(jī)、電子通訊設(shè)備和集成電路等微電子行業(yè)的生產(chǎn)車(chē)間和高級(jí)實(shí)驗(yàn)室為減少或消除靜電危害,均需鋪設(shè)防靜電臺(tái)墊或?qū)щ姷貕|,當(dāng)防靜電臺(tái)墊或地墊鋪好并接地后,工作面將泄放人體靜電,使人體與臺(tái)面接觸的ESD鑷子、工具等達(dá)到基本均一的電位,使靜電敏感器件(SSD)不受摩擦起電等靜電放電現(xiàn)象產(chǎn)生的寬步面帶的干擾,從而達(dá)到防靜電的效果。雙層結(jié)構(gòu)橡膠臺(tái)墊還可用來(lái)消除與臺(tái)墊相接觸的人、周轉(zhuǎn)箱、包裝袋、元器件及其他物品的靜電。平整、不卷曲、不受潮濕影響,并能有效抵抗剝蝕,化學(xué)物品及耐高溫、易于清潔和保養(yǎng)。
防靜電橡膠臺(tái)墊主要用抗(導(dǎo))靜電材料和耗散靜電材料合成橡膠等制作而成。常用為2mm厚雙層復(fù)合結(jié)構(gòu),表面層為約0.5mm 厚的靜電耗散層,底層為約1.5mm厚的導(dǎo)電層。
表面電阻/resistvity of surface layer |
10^6-10^9歐 |
底面電阻/resistvity of botton layer |
10^3-10^5歐 |
體積電阻/bulk resistvity |
10^5-10^8歐 |
磨耗率/abrasistivity loss |
<=0.02g/cm2 |
散電散除時(shí)間/time for static dissipation |
<0.1s |