KW-4A型臺式旋涂儀
中國半導體行業(yè)協(xié)會CSIA推薦品牌 SIYOUYEN®
臺式勻膠機:(Spin Coater)適合半導體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合硅片,晶片,基片,ITO導電玻璃等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。
詳細介紹: 勻膠機(英文名:Spin Coater)
行業(yè)俗稱:勻膠臺,甩膠機,涂膠機,鍍膜機,涂層機,旋涂機,旋涂儀等。
型號MODEL KW-4A型
產品概述:
SIYOUYEN品牌KW型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆.
勻膠機穩(wěn)定的轉速和快速的啟動,可以保證半導體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是KW型均勻膠機的特點.
該機在這方面采取了許多措施:
(一)該設備采用美國先進技術,采用進口配件(韓國定子和轉子,美國電機)
(二)定子和轉子分開供電.定子用穩(wěn)定電源供勵磁電流,轉子用開關電源調速,它比可用控硅調速優(yōu)越得多,轉速在1000~8000轉/分范圍內非常穩(wěn)定.
(三)本勻膠機有兩個轉速.在啟動之后,先以低速運轉,使膠攤開,然后自動變到高速運轉.兩種轉速及相應的時間分別可調.
(四)本勻膠機測速采用光電的辦法,在光電測速盤的邊上有三個缺口,(反射帶和吸收帶)分布于盤的周圍,盤邊的下面安裝有光電開關,光源照到光電經(jīng)反射到接收器,產生光電脈沖,測速盤旋轉一周,產生三個脈沖.閘門由秒脈沖電路產生,周期為兩秒.當馬達旋轉時,如果計時器在2秒內計的得數(shù)是n,則每分鐘應該轉了n/(2x3)=n/6轉,每分鐘旋轉(n/6)x60=10n轉.故計數(shù)器就是每分鐘轉速,只不過差一個數(shù)量級.
(五)"吸片"采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個氣泵可同時帶幾個勻膠機工作,提高了效率.
(六)勻膠機的定時功能由時基電路556來完成,把556按單穩(wěn)形式連接,改變RC常數(shù),就可以改變兩個勻膠時間.
(七)智能型調節(jié)勻膠時間,時間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘.
(八)在安裝結構上,采取了減振措施,保證了在運轉時噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調節(jié)轉速調節(jié)涂覆厚度.
(九)勻膠機配真空泵使用(推薦使用雙級無油環(huán)保真空泵 SK-65C型)
性能指標:
1,特點是雙轉速勻膠機,兩檔轉速及勻膠時間分別連續(xù)節(jié),在啟動后先低速運轉,經(jīng)幾秒鐘后轉換到高速運轉.
Ⅰ檔 調速范圍:500-2500轉/分 Ⅰ檔 勻膠時間:2-18秒
Ⅱ檔 調速范圍:1000-8000轉/分 Ⅱ檔 勻膠時間:3-60秒
2,LED數(shù)字顯示,轉速穩(wěn)定度:±1% ,膠的均勻性:±3% .
3,電源電壓:220V/ 50Hz
4,電機功率:40W
5,適用:Φ5-Φ100mm硅片或其它材料的勻膠.(備有各種型號托盤選購或者免費特殊訂制)
6,真空泵抽氣速率 ≥60升/分
7,體積小,重量輕,操作簡便
勻膠機主體尺寸:210×220×160 mm
成功合作客戶參考:
美國賓西法尼亞州大學,加拿大戴爾豪斯大學,加拿大皇后大學,香港理工大學,香港科技大學,香港城市大學,北京大學,清華大學復旦大學,東南大學,北京工業(yè)大學,江蘇工業(yè)大學,上海大學,北京科技大學,電子科技大學 ,中國地質大學,廈門大學,天津大學,貴州大學,西南師范大學,香港電訊學院,陜西師范大學,北京石油化工學院,重慶西南大學,中國地質大學,美國軟物理實驗室,中國石油大學,中國科學院蘭州化學物理研究所固體潤滑國家重點實驗室,北京理工大學,哈爾濱工業(yè)大學,哈爾濱工程大學,武漢大學,西安交通大學,四川大學,四川師范大學,同濟大學,天津大學,西南交通大學,石家莊無線電二廠等。
中國科學院上海硅酸鹽研究所,中國振華集體,富士康納米中心,中天電子,韓國KIM公司,天美國際公司,等著名高校,及半導體微電子行業(yè).。
主要市場
香港、中國、韓國、新加坡、美國、加拿大、瑞士等國家
鑫有研電子科技有限公司持有品牌
SIYOUYEN®
所獲得認證
本品牌勻膠機質量技術和服務具有ISO9001:2000質量管理體系認證
本品牌勻膠機已獲得國際商標證書:SIYOUYEN 鑫有研 國際商標注冊證號4925464
本品牌勻膠機在中國已被頒布認證為:中國著名品牌商標,證書編號E080120848