封閉式光柵尺
* 能有效防塵、防切屑和防飛濺的切削液
* 是用于機(jī)床的理想選擇
* 鋁質(zhì)外殼和密封軟條可以保護(hù)光柵尺、掃描單元和軌道免受灰塵、切屑和切削液的影響
* 掃描單元的運(yùn)動軌道摩擦力很小
* 軌道內(nèi)置在光柵尺上
* 它通過一個(gè)連軸器與外部的安裝架連接
* 這個(gè)連軸器可以補(bǔ)償光柵尺和機(jī)器軌道之間不可避免的對正誤差
* 封閉式光柵尺的結(jié)構(gòu)有標(biāo)準(zhǔn)光柵尺外殼適用于振動頻率高且最大測量長度為
* 還有緊湊光柵尺外殼適用于安裝空間小
* 準(zhǔn)確度等級± 2 μm ;測量步距 0.1μm ;測量長度達(dá) 30 m ;高加減速度
敞開式光柵尺與讀數(shù)頭和光柵尺或鋼帶間沒有機(jī)械接觸。是專門為機(jī)械和那些特別需要高精度測量值的裝置設(shè)計(jì)的;
典型應(yīng)用包括:
* 半導(dǎo)體行業(yè)的測量和生產(chǎn)設(shè)備
* 印刷電路版裝配機(jī)械
* 超精密機(jī)械
* 高精度機(jī)床
* 計(jì)量機(jī)和比較儀、測量顯微鏡和其它精密測量裝置
* 直接驅(qū)動
* 準(zhǔn)確度等級 ± 0.5 μm 和更高 ;測量步距 0.001 μm (1nm) ;測量長度 30 m
增量式光柵尺決定當(dāng)前位置的方式是由原點(diǎn)開始數(shù)測量步距或細(xì)分電路的計(jì)數(shù)信號數(shù)量。海德漢的增量式光柵尺帶有參考點(diǎn),開機(jī)時(shí)必須執(zhí)行參考點(diǎn)回零操作非常簡單、快捷。
絕對式光柵尺無需執(zhí)行參考點(diǎn)回零操作就能直接提供當(dāng)前位置值。光柵尺的絕對位置值通過EnDat接口或其它串行接口傳輸。