設(shè)備概述:

硅片甩干機是由該系列機型具有高潔凈度旋轉(zhuǎn)沖洗甩干功能。主要用于硅圓片、掩模版、太陽能電池等類似材料的沖洗甩干。

1·甩干機機型
   雙工作腔結(jié)構(gòu)，最大加工片子直徑φ150mm。S為雙片盒結(jié)構(gòu).

2·系統(tǒng)構(gòu)成

整機采用雙工位（或單工位）層疊、積本式組合結(jié)構(gòu)，每個工位可獨立運行互不干擾。能實現(xiàn)包括旋轉(zhuǎn)沖洗、氮氣烘干、電阻率監(jiān)控、防靜電控制、腔體干燥、故障顯示報警、系統(tǒng)潔凈化處理在內(nèi)的全自動工藝處理過程。

3·結(jié)構(gòu)原理與特點

（1）潔凈化處理技術(shù)     ⑵ 大功率無刷電機驅(qū)動

⑶ 清洗工作腔體       ⑷ 轉(zhuǎn)軸氮氣密封技術(shù)

⑸ 去離子水控制        ⑹ 防靜電控制

⑺ 防震、隔震技術(shù)      ⑻ 測速、計數(shù)控制技術(shù)

⑼ 制動控制技術(shù)       ⑽ 系統(tǒng)控制技術(shù)

⑾ 工藝處理軟件        ⑿ 顆粒控制性能

⒀ 安全及防護(hù)處理      ⒁ 門位置狀態(tài)監(jiān)控與互鎖

⒂ 生產(chǎn)技術(shù)